伤害某半导体器件鑫霖环保芯片研制厂,晶圆生产操作过程中带来含硅、氟的特别的废污水工作形式,装修设计工作建设规模1200吨/日。废污水工作形式组成成分繁琐,内含納米级硅粒状及氢氧化钠,过去工作形式其特性很难标准。
化工废水的成分及收入
具体环保问题物
:电解质溶液硅(100-500nm颗粒直径)、氟正离子(200-300mg/L)、异丙醇
由来流程
:晶圆刻蚀废水处理方法处理工艺(45%)、CMP耐腐蚀机械性打蜡 废水处理方法处理工艺(40%)、设配清洗道路水(15%)
处置工艺设计流量
革新运用"化学物质沉淀物中+特别膜转移"新技术的路线:
钙盐沉淀出的
:加药系统氯化钙洗去氟正离子(自动生成CaF2沉淀自己)
斜板沉淀池反映
:分手后复合斜管沉淀池剂实现了溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm直径膜公款私存微细颗料
反固化体系
:脱盐率>98%,出售率75%
蒸馏沉淀
:浓水段保证 氟化物污水处理技术标准
从而实际效果
氟化物溶度:<8mg/L(小于发达国家三级标准单位10mg/L)
硅分量:<5mg/L
我国水资源英文回收利用率:70%适用于降温塔保湿补水
危险废物减轻:蒸馏残余物量较传统化工艺流程才能减少60%