某半导体心片心片制做厂在晶圆加工制作进程中,施用硅烷做出硅外加生长的,烟气洗滌塔引起高含量含硅废液解决。废液解决有着pH波动性大(2-11)、硅含量高的性能,传统意义解决工艺易展现硅垢堵赛困难。
废水处理工艺部分及来历
废渣包括因素为:
融解性硅酸盐
:SiO₂氧化还原电位达1000-1500mg/L
硝酸钠/氢脱色钠
:洗衣塔强酸强碱洗衣液使用量
颗粒物硅
:微米级SiO₂溶液
痕量砷
:原材料不溶物携带
治理 步奏步奏
研发主要采用"有级采和+膜净化+化掉结晶体"制作工艺:
6级结合
:用CaO调整pH至4-5,转为硅酸钙沉定,硅弄掉率60%。
二级考试中合
:加Na₂CO₃将pH增加至9,进十步奠定所剩硅,并接用镁剂除砷。
反渗透装置机系统
:0.02μm瓷砖膜过滤装置纳米技术级硅粒子,通量安全稳定在80LMH。
MVR多效真空泵
:精炼高盐焦化废水,成果出Na₂SO₄副好产品,水回收利用率超90%。
终结视觉效果
总硅从1500mg/L高于5mg/L之下
砷水平从0.8mg/L减至0.01mg/L
系统软件无积灰使用高达2年
第二年收集硝酸钠钠结晶体约800吨