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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体心片心片制做厂在晶圆加工制作进程中,施用硅烷做出硅外加生长的,烟气洗滌塔引起高含量含硅废液解决。废液解决有着pH波动性大(2-11)、硅含量高的性能,传统意义解决工艺易展现硅垢堵赛困难。 废水处理工艺部分及来历 废渣包括因素为: 融解性硅酸盐 :SiO₂氧化还原电位达1000-1500mg/L 硝酸钠/氢脱色钠 :洗衣塔强酸强碱洗衣液使用量 颗粒物硅 :微米级SiO₂溶液 痕量砷 :原材料不溶物携带 治理 步奏步奏 研发主要采用"有级采和+膜净化+化掉结晶体"制作工艺: 6级结合 :用CaO调整pH至4-5,转为硅酸钙沉定,硅弄掉率60%。 二级考试中合 :加Na₂CO₃将pH增加至9,进十步奠定所剩硅,并接用镁剂除砷。 反渗透装置机系统 :0.02μm瓷砖膜过滤装置纳米技术级硅粒子,通量安全稳定在80LMH。 MVR多效真空泵 :精炼高盐焦化废水,成果出Na₂SO₄副好产品,水回收利用率超90%。 终结视觉效果 总硅从1500mg/L高于5mg/L之下 砷水平从0.8mg/L减至0.01mg/L 系统软件无积灰使用高达2年 第二年收集硝酸钠钠结晶体约800吨

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