该厂为84英寸晶圆的流水线一起的超净水设备，日常生产含硅废液150吨。废液中虽无巨资属，但硅占比高易积垢，且电容率需实现18MΩ·cm才华循环。原先操作新工艺时未符合新颁布实施的《自动化实业水水工业废气排出规定》（GB39731-2020）特意排出标准值。 生活污水组成成分亮点 最主要的废弃物物 ：橡胶胶体部分硅（200-300mg/L）、颗粒肥料硅（孔径0.1-1μm） 特出追求 ：TOC<10μg/L，硼含量的<5μg/L 水的质量基本特征 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅类化合物价值形式繁琐 解决生产工艺工作流程 改革创新选用"梯级膜区分+电去化合物"三人组合加工过程： 微滤预整理 ：1μm陶瓷厂家膜拦阻大颗粒状硅，通量保护80LMH 铝离子置换硅橡胶 ：D201大孔环氧树脂选购性树脂吸附硅酸大分子 二级考试RO体系 ：第一点段收旧率60%，然后段应用高脱硼膜器件 EDI电去阳离子 ：直流电压规格2A/m²，维持的还原残留阴离子 紫外光除臭 ：254nm紫外光线使用量40mJ/cm² 枝术突出点 开拓使用阻硅剂（有机会胺类混合物），廷缓膜严重污染时间段3倍 EDI传感器创新发展流道开发，硅取除率提高自己至99.8% 网络硅分折仪（测量方法领域0.1-500μg/L）实现了准确把控好 作业预期效果 经第二方检则： 总硅从280mg/L下降0.05mg/L 硼含碳量从8μg/L下降0.3μg/L 系统化收购 率从原40%完善至68% 膜撤换周期长提高至5年，年执行成本预算变低35%