该案例分享源自华东省市省市一间门头半导体设备造成工厂,大部分的生产方式融合电路系统IC芯片。在的生产方式过程中 中,晶圆拆洗、蚀刻等步骤需应用大规模网上级磷酸(含量≥85%),对此行成高氧浓度含磷化工废水。工厂应有治疗措施不可符合越来越要严格的减排标准规范(TP≤0.5mg/L),肯定需要优化整修。
化工废水基本成分及源
工业工业化工生产废水主要是来原于三要素:晶圆拆洗工业工业化工生产废水(占总储水量60%)、的设备冲泡工业工业化工生产废水(30%)与屋面冲泡工业工业化工生产废水(10%)。水环境特点主要表现为:pH值1.5-2.5,总磷有机废气浓度800-1200mg/L,氟阴阳离子纯度50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并包含少量天价属(铜、锌等)。
处理工艺技术的流程
顶目选择"预外理+化学上的奠定+初级阳极氧化+厚度净化"的组成加工制作工艺 :
调准池
:均衡性水质标准需水量,配有pH迅雷在线检测方案体统
五级反应迟钝池
:添加石粉乳调整pH至8.5-9.0,产生Ca3(PO4)2沉淀自己
二次的反应池
:修改PAC和PAM强化木纹地板斜板沉淀池治疗效果
斜板沉淀出的池
:保证固液分离法,飞灰流入脱水处理系统性
Fenton钝化單元
:H2O2与Fe²⁺一体化角色可降解有机酸物
多物质油烟净化器器
:石英砂砂+催化活性炭滤过器乐队组合滤过,狠抓喷水清澈见底
化合物调换系统性
:进两步除去残余物重金属铝离子
最后体验
系統加载稳定性后,冒水水被污染的:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟铝离子≤5mg/L,那项要求更为重要《电子器材制造业水被污染的物污染物口标准规定》(GB 39731-2020)。去年缩短磷污染物口约15吨,飞灰有量较传统与现代施工工艺较低40%,加载直接费用操控在8.两元/吨水。