该晶圆手工制造商处在华东的地区的地区,一般产出加工8屏幕尺寸半导体技术晶圆,平均焦化废水的排缩量上涨约800吨。犹豫产出加工过程中中在使用很多氢佛酸展开晶圆蚀刻,形成焦化废一般的水都氟化物溶液浓度高达mg200-300mg/L,远超地区的排放物原则(10mg/L下述)。
污水有效成分及来源于
污水其主要来自五湖四海八个方面:
晶圆蚀刻繁琐流程
:含高氨水浓度氟化物(HF)、盐酸及少量出巨资属
无机化学机诫磨光(CMP)污水
:含nm级硅粒状、有机酸络合剂
的设备清晰电镀废水
:含异丙醇、氯离子等充分物
外理方法标准流程
用到"耐腐蚀放置物中+沥青混凝土放置物中+厚度滤水"三级职业资格证书外理系统性:
四级补救
:加药氯化钙和氢硫化钙,建立氟化钙滤渣,氟化物洗去率达85%
二次元操作
:修改PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚炳烯酰胺),除去悬浊液态危害物
两级处置
:经由多材质脱水器和活性氧炭物理吸附,出水量氟化物有机废气浓度稳定的在8mg/L下述
最为关键的专用设备还有:pH全自动的调节设备、斜管沉淀出的池、板框压滤(污泥干化烘干)。
最后体验
创业项目程序运行3年污染监测大数据提示 :
氟化物年均氧浓度:7.2mg/L(不超部委细则)
COD出掉率:92%
活性污泥水分含量率:≤65%
年二手回收氟化钙副服务约150吨,保持資源化再生利用