某半导体行业厂在生育时候中的使用氯化铵系显影液液,发生高氧浓度含NOx废液,日治理量50吨。废液中含NO2-可高达2000mg/L,且包含的微量分析生产光刻胶化学成分,治理难易较多。
2. 生产废水物质及来历
定影工艺流程废弃物(基本污染问题源)
晶圆难以清理生活污水
烟气洗涤剂塔排水性
3. 治理 生产技术环节
分为"最高级氧化物+二级动物治理"创新性工序:
老化氧化物
:进行活性氧再次高压发生器导致O3,将难生物降解生物碳物拆解为小氧分子的物质,也将NO2-氧化反应为NO3-。
怪物膜反馈器(MBR)
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首个级:脑缺氧生态下污泥脱水甲醇做碳源,提高反水解酸化症状
2级:好氧生物学膜进一个步骤分解有机会物
电药剂学深度.处理
:用到钛基金属涂层探针,进行钛电极反应彻底消除分解掉残留感染物。
4. 决定性疗效
NOx总氮高于8mg/L以內
COD稳定的在30mg/L以內
废水处理回收率达60%
软件系统运动耗电的控制在3.5kWh/吨水,较传统艺术加工节水20%。