半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
工程项目背景图案
该房产园聚在一起了十余家半导体设备相关联机构,的设计日工作效率5000吨,需要工作出自多种机构的混后电镀废水加工处理工艺。是因为各机构生产方式技术区别大,电镀废水加工处理工艺材质较为复杂变幻莫测,工作分值较高。
废水处理营养成分及特征
污电镀废气处理 其主要主要包扩几大类:高质量溶度巧妙肥料污电镀废气处理 (光刻胶、定影液等)、含氟污电镀废气处理 (刻蚀工艺程序)和强酸强碱污电镀废气处理 (刷洗工艺程序)。专项 组成成分主要包扩异丙醇、四甲基氢氧化物铵等难溶解巧妙肥料物,及氟化物、挥发酚等有机物破坏物。污电镀废气处理 COD下跌大(500-3000mg/L),氟化物质量溶度100-500mg/L,挥发酚50-150mg/L。
办理技术环节
用于"几大类汇集+分质办理+集中点宽度办理"的全新模式,:
公司企业企业内部总类预处里:含氟废污水一个人获得并预处里
产业园污水管道分为推送系统的
一体化转换池均等化水硬度
二级混凝土水解出掉浮动物和固体
有效率菌物想法器(HBR)加工处理设计严重环境有害特性
臭氧杀菌催化剂的作用氧化反应化解难化解无机物
反加入控制系统实行脱盐正确处理
分光光度计线空气消毒有效确保冒水安全卫生
特意快速设置了在线平台监测技术体统和重新投加体统,积极应对水体起伏较大。
之后成果
设计运作五年来,净化处理疗效增强信得过。溢水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,挥发酚<5mg/L,总氮<15mg/L,以达到河流Ⅳ类标准,一些回收利用于产业产业园区园林景观及急冷塔保湿,回收利用率超30%。每一年的极大减少新鲜毛肚水便用约70万吨,为产业产业园区企业公司节省成本有水费千余上万元。