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半导体加工废水处理案例|半导体加工废水处理方法

新项目游戏 背景 该半导体技术行业公司中小型企业地属长半圆城市,最主要生产方式制造8英尺和12英尺晶圆,日排卸出废出水量约2000吨。由半导体技术行业生产方式制造加工过程复杂性,废污水东西多元化且具有各种难吸附东西,公司中小型企业改变治理 安全设施难以考虑不断要严格的绿色环保排卸出的标准,故融资5000万元新修专科废污水治理 站。 废污水有效成分及源 该企业公司废污水主耍划分成几类: 含氟废渣:来自于晶圆蚀刻、难以清理工艺技术,氟亚铁离子渗透压可高达2000mg/L; 设计废液:出于光刻、显影液等鑫霖环保,含异丙醇、异丙醇等设计液体,COD值在5000mg/L的样子; 耐酸碱化工废水:行成于洗和外表净化处理原则,pH值价格波动大; 含铜工业废水:发源电镀层和塑料化工品艺,铜铁离子密度约150mg/L。 工作生产技术的流程 针对于各种不同概念的焦化废水,应用"分类别整理+分质整理+最末端淬硬层整理"的组合名字技艺: 含氟废水进行处理方法进行处理线: 二级电学沉淀自己物:先加药氯化钙改善pH至6-7,加上入PAC和PAM二沉池沉淀自己物; 可溶性防氧化铁粘附:保障氟阴阳离子质量浓度低于8mg/L左右。 有机化学废水办理工艺办理线: 微电解抛光反响:铁碳规整填料床预加工加快电镀废水可生化学性; UASB活性污泥不起作用器:HRT=24h,COD洗去率65%; MBR膜生物制品生理反应釜:主要包括PVDF双层纤维板膜,出液COD<50mg/L。 酸碱度电镀废水结合平台: 定时pH可以调节:借助线监控仪调控加酸加碱量; 斜管沉积池沉积:删去中合带来的悬屏物。 含铜废气操作: 化学上的沉定:污泥脱水NaOH自动调节pH至9-10,构成氢空气氧化铜沉定; 亚铁正离子更换:保证 铜亚铁正离子质量浓度<0.3mg/L。 深层除理單元: 臭氧杀菌催化反应钝化:进一点生物降解难葡萄糖氧化生物碳物; 亲水性炭脱水:彻底清除饱和度和轻微水空气污染物; 紫外光线消毒剂:保证 留水微动物指标英文合格。 结果是疗效 新项目运营后,出水出水地表水稳固提升《电子器件工艺水环保问题物废气标》(GB 39731-2020)很废气允许值的要求,各举氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜<0.3mg/L。每一年可以减少氟化物废气约120吨,COD废气约400吨,收集水物资约30万吨。体系会机械自动化状态高,运营投入调控在8.5元/吨水差不多。

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